面向半导体湿电子化学品（硫酸、双氧水、氨水、显影液等）与超纯水（UPW）输送的超纯陶瓷阀。高纯全陶瓷过流部件杜绝金属离子析出，紧凑全内衬结构确保高纯工艺介质的绝对纯净；精密研磨配合 Ra≤0.1 光洁度与自补偿结构，实现“零”泄漏关断。
咨询选型 · 获取方案 →| 产品定位 | 半导体级超纯陶瓷阀（高纯工艺介质专用） |
|---|---|
| 过流部件 | 高纯全陶瓷（Al₂O₃、ZrO₂、Si₃N₄、SiC 可选） |
| 陶瓷纯度 | 可达 99.95%（纳米级高纯度结构陶瓷） |
| 流道光洁度 | Ra ≤ 0.1 μm（镜面级精密研磨） |
| 密封结构 | 自补偿密封，实现“零”泄漏关断 |
| 可选阀型 | 超纯球阀 / 超纯 C 阀·偏旋 / 超纯 Globe 阀 |
| 典型介质 | 湿电子化学品（硫酸、双氧水、氨水、显影液等）、超纯水 UPW |
| 认证体系 | ISO9001、CE、SIL、FDA、ISO15848-1、BV 等 |
| 选材提示 | 氢氟酸（HF）等特定介质需专项选材与工况确认 |
| 详细参数 | 半导体专用系列完整参数表待技术部门确认后补充 |
* 以上参数摘自产品技术交流资料，完整选型参数请索取对应系列样本。
全内衬高纯陶瓷球阀，紧凑结构、零金属离子析出，适合湿电子化学品切断。
偏心刮刀式自洁结构，适合含颗粒高纯介质的切断与调节。
全陶瓷流道精密调节，适配高纯介质的流量精确控制。